01.04.2015

Fraunhofer-Gesellschaft

Hochleistungs-Magnetsensoren günstig herstellen

Man findet sie überall dort, wo andere Messverfahren versagen: Magnetsensoren. Sie trotzen harten Umgebungsbedingungen und funktionieren auch in Flüssigkeiten. Ein neues Verfahren krempelt nun die Produktion von zweidimensionalen Magnetsensoren um: Sie kosten somit nur noch die Hälfte und die Herstellungszeit sinkt um 50 Prozent.

Wo musste man noch gleich entlang laufen? Hier rechts – oder doch erst die nächste Abzweigung? Ein Blick auf das Smartphone hilft weiter: Verschiedene Apps blenden Straßenkarten ein und drehen die Karte passend zur Himmelsrichtung, sie norden sie ein. Ähnlich »schlau« sind Navigationsgeräte: Auch sie zeigen die richtige Richtung bereits an, bevor das Auto sich in Gang gesetzt hat. Möglich macht dies ein Magnetsensor. Er ermittelt, wie das Gerät zum Erdmagnetfeld gehalten wird. Der Markt ist heiß umkämpft: Beim Preis der Sensoren zählt jeder Cent. Die Hersteller setzen daher bislang auf mehrere günstige eindimensionale Sensoren. Der Nachteil: Sie sind weniger empfindlich und arbeiten nicht so präzise wie zweidimensionale Modelle.

Künftig könnten jedoch auch kompakte zweidimensionale Sensoren den Weg in die Smartphones finden. Forscher vom Fraunhofer-Institut für Elektronische Nanosysteme ENAS in Chemnitz haben das entsprechende Herstellungsverfahren optimiert. »Die Kosten und die Herstellungszeit der zweidimensionalen Magnetfeldsensoren fallen um die Hälfte«, sagt Dr. Olaf Ueberschär, Gruppenleiter am ENAS.

Sensoren »aus einem Guss«
Der Grund für diesen Kostensturz liegt in der Produktionsweise: Die Wissenschaftler fertigen die Sensoren aus einem Materialstück – und damit gänzlich anders als bisher. Denn schon für einen eindimensionalen Sensor braucht man zwei mikroelektronische Halbbrücken, deren eingeprägte Magnetfelder in entgegengesetzte Richtungen zeigen. Da die Ausgangsmaterialien eine Magnetisierungsrichtung vorgeben, das Magnetfeld in ihnen also bereits ausgerichtet ist, musste man bislang zwei verschiedene Materialstücke zusammensetzen – eine aufwändige und somit teure Angelegenheit. Für zweidimensionale Sensoren brauchte es zwei solcher Halbbrücken beziehungsweise vier Materialstücke.

»Wir können sowohl die Vollbrücken als auch die zweidimensionalen Sensoren erstmals monolithisch – aus einem Stück – herstellen«, so Ueberschär. Dazu scheiden die Forscher auf einem Wafer ein Schichtmaterial ab und ätzen die gewünschte Struktur heraus. Der Clou liegt in der anschließenden Laserbearbeitung: Mit ihm können die Wissenschaftler die magnetischen Vorzugsrichtungen nach Belieben einstellen.

Klein wie ein i-Tüpfelchen
Ein weiterer Vorteil: Der neue Sensor füllt nicht einmal einen Quadratmillimeter und ist damit nur etwa halb so groß wie bisherige Modelle. Je kleiner, desto mehr Anwendungen kommen für die Minichips in Frage. Beispielsweise bei Magnetfeldkameras, in denen sich zahlreiche Sensoren in mehreren Zeilen und Spalten befinden und Magnetdaten aufnehmen. Will man eine hohe Auflösung erreichen, müssen die Sensoren möglichst klein sein – nur so passen sie dicht nebeneinander und stören sich nicht gegenseitig.

Die Magnetsensorik ist nicht auf Smartphones beschränkt. Vielmehr kommt sie überall dort zum Einsatz, wo unwirtliche Umgebungsbedingungen herrschen und andere Messverfahren versagen würden – etwa in Flüssigkeiten oder heißen Ölbädern. Auch im Auto sind sie zu finden, zum Beispiel in vollelektronischen Schalthebeln, wie sie bei neueren Fahrzeugen in der Mittelkonsole oder am Lenkrad eingebaut sind. Und in der medizinischen Diagnostik spüren sie Tropenkrankheiten sowie andere Viren und Bakterien auf.

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